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苏哲听到第七次测试成功,兴奋的从椅子上跳了起来。
来到办公室门口,看见范晓明激动的朝他跑了过来。
“成了……小哲!我们成了,第七次测试成功了,镜面……镜面……”范晓明来到苏哲面前,喘着粗气断断续续的说。
“晓明哥!你慢点说,镜面怎么呢?”苏哲提醒。
“测试的检测结果出来了,光学镜头的平面镜镜面能达到0.08纳米的面型精度峰谷值和18皮米的表面粗糙度,这样的精度已经超过了蔡斯,一举成为世界第一。”范晓明说着竖起了大拇指。
“比理论精度差了点……测试的两组都是这个精度吗?”苏哲连忙问。
理论和实际还是有些差距的,能做到0.08纳米的面型精度峰谷值和18皮米的表面粗糙度,已经非常不错了。
至少超过了蔡斯的0.12纳米的面型精度峰谷值和20皮米的表面粗糙度。
“不!另外一组镜片的检测结果还没出来。”范晓明满脸笑容的说。
“走!我们去实验室看看。”苏哲说着关上了办公室的门。
两人一路无话,直奔离子束抛光技术研究实验室。
路上,其他实验室的人纷纷探出头来,看着急匆匆的两人。
“听到了吗?小老板说第七次测试成功了。”
“那是不是意味着大老板他们突破了离子束抛光技术!”
“和小老板一起的是苏哲吧!听说第七次测试和苏哲有关,也不知道真假。”
……
苏哲和范晓明刚赶到离子束抛光技术研究实验室,就听见热烈的掌声和欢呼声。
“成了!终于成了,一年多的时间,七次测试,太不容易了。”
“DYN-离子束抛光技术成了,能做EUV光刻机光学镜头了,我们将冲击光学镜头高端市场,击败所有对手,一统……”
“一年工资的奖金,半个月的假期,想想就兴奋。”
……
研究人员见到苏哲和范晓明进来,鼓掌声更响了。
包正义见到苏哲,连忙迎了上来,大声说:“谢谢!太谢谢了!没有你提供的DYN-离子束抛光技术,我们还不知道要进行多少轮测试。”
“太客气了!包教授,第二组检测结果如何?”苏哲看着一脸激动的包正义问。
“好!非常好!和第一组差不多,镜面达到0.09纳米的面型精度峰谷值和19皮米的表面粗糙度。”包正义指着他工位上的显示屏,“这样的精度还是因为我们仓促测试的结果,等设备定型了,精度还会更高。”
苏哲看了看显示屏上两组光学镜头镜片的镜面检测结果,如同范晓明和包正义说的那样,虽说没有达到理论值,但比蔡斯加工的精度高。
这样的加工精度完全满足EUV光刻机光学镜头的需要,国内芯片制程工艺能全面突破了。
他也能拿到提前预支的那一千万了,就是不知协议啥时候签?
正想这些的时候,耳边传来包正义的喊声。
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